电子工业用气体三氟化氮检测-材料分析及检测

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检测标准：

1 水 GB/T5832.3-2011、GB/T5832.1-2016 水

2 三氟化氮 GB/T 21287-20216.2 三氟化氮

3 四氟化碳 GB/T 21287-20216.3 四氟化碳

4 氮 GB/T 21287-20216.3 氮

5 氧+氩 GB/T 21287-20216.3 氧+氩

6 一氧化碳 GB/T 21287-20216.3 一氧化碳

7 二氧化碳 GB/T 21287-20216.3 二氧化碳

8 氧化亚氮 GB/T 21287-20216.3 氧化亚氮

9 六氟化硫 GB/T 21287-20216.3 六氟化硫

10 可水解氟化物（以HF计）或总酸度 GB/T 21287-20216.5 可水解氟化物（以HF计）或总酸度

11 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 气体分析 微量水分的测定 第1部分: 电解法 GB/T5832.3-2011、GB/T5832.1-2016 水

12 电子特气 三氟化氮 GB/T 21287-20216.2 三氟化氮

13 电子特气 三氟化氮 GB/T 21287-20216.3 四氟化碳

14 电子特气 三氟化氮 GB/T 21287-20216.3 氮

15 电子特气 三氟化氮 GB/T 21287-20216.3 氧+氩